積水化學在開發先進半導體製程中適用於超純水製程應用之無PFAS配管方面取得進展

東京--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- 積水化學工業株式會社（東京證券交易所代碼：4204）（社長：Keita Kato，以下簡稱「積水化學」）宣布，因應全球對全氟烷基與多氟烷基物質（PFAS）監管日益嚴格的趨勢，以及降低環境影響的需求，都市基礎設施暨環境產品公司（總裁：Yoshiyuki Hirai）正致力開發一項先進半導體製程中適用於超純水製程應用之無PFAS配管材料技術。由於該技術的開發已取得階段性進展，積水化學將正式向客戶提案。

1. 背景

在半導體與平面顯示器（FPD）產業^*中，使用的超純水必須在不降低水質的情況下供應。相關配管材料包括樹脂材料（硬質聚氯乙烯PVC、聚丙烯PP、氟碳樹脂如聚偏二氟乙烯PVDF、聚四氟乙烯PTFE及全氟烷氧基樹脂或PFA），以及經特殊表面處理的金屬管。隨著半導體製程的高度微細化發展，現今的先進半導體產業需要能最大限度抑制無機與有機物質溶出的配管材料。

*平面顯示器（FPD）產業泛指所有與製造平面顯示器相關的產業總稱，包括液晶顯示器、有機EL顯示器及LED顯示器等。

2. PFAS及其監管現狀

PFAS指的是全氟烷基與多氟烷基物質，這類物質在自然界中極難分解，可能對人體或生態系統造成影響。在PFAS中，全氟辛酸PFOA及全氟辛烷磺酸PFOS的製造與進口已遭禁止。目前日本雖未將應用於超純水製程配管與配件的 PVDF、PTFE等氟碳樹脂材料納入管制範圍，但歐洲與美國正研擬全面監管PFAS。加上其他相關行動，全球對PFAS的監管呈現更嚴格的趨勢。

3. 開發歷程

作為塑膠配管材料的先驅，積水化學早在1984年便推出用於輸送超純水的硬質PVC配管材料「EsloClean Pipe」並憑藉卓越實績獲廣泛採用。積水化學本次基於PFAS議題，成功開發出一款特殊烯烴樹脂配管材料，作為氟碳樹脂的低釋出替代材料。2022年11月，積水化學與Kurita Water Industries Ltd.共同啟動了實際超純水系統實證試驗。與現有氟碳樹脂配管材料相比，該特殊烯烴樹脂配管材料在製造過程中可減少約80%的 CO₂排放量。此外，因應全球PFAS管制趨嚴態勢，積水化學也開始開發用於超純水製程應用的無PFAS配管與配件。

4. 未來展望

隨著無PFAS技術的確立，積水化學將正式向客戶提案，目標在2026會計年度內上市。該公司也將推進開發閥件、墊圈等其他完全不含PFAS的超純水製程用配管材料，以期早日實現全面無PFAS化。

積水化學正加速開發並拓展對自然與社會環境議題具高度貢獻的產品（如「Clean Pipe」）。為實現社會及公司之永續成長，積水化學正在集團內全面推動「Products to Enhance Sustainability System」（提升永續發展產品體系），以實現更高層次的ESG經營。

積水化學將透過開發從製造到客戶使用階段皆能解決自然與社會課題的產品，力求於2030年實現社會永續發展。

（參考）Eslon Clean Pipe System型錄
https://eslon-plant.jp/catalog/Catalog-JE_CleanPipeSystem.pdf

（參考）Kurita Water Industries Ltd.公司簡介
公司名稱：Kurita Water Industries Ltd.
地址：日本東京都中野區中野4-10-1，中野中央公園東棟，164-0001
代表人：Hirohiko Ejiri（社長暨代表執行董事）
資本額：134億日圓
創立日期：1949年7月13日
員工人數：8,151人（合併）
網站：https://www.kurita-water.com/

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